橫河DD馬達(dá)        
DD馬達(dá)定子采用高磁性的稀土永久磁鐵，通過直接驅(qū)動方式，可實(shí)現(xiàn)較高的力矩質(zhì)量比，馬達(dá)反饋采用新型編碼器。DM系列的解析度最高可達(dá)4096000PPr.DM1A系列的絕對精度和重復(fù)定位精度為+-15arc-sec和+-1arc-sec。新型智能驅(qū)動器采用數(shù)字控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4倍的解析度以及前饋功能，整定時間大大縮短。        
       
       
       
直線電機(jī)        
LM系列直線伺服為直接驅(qū)動先行伺服，內(nèi)嵌獨(dú)特的玻璃光柵編碼器。此產(chǎn)品的高精度，全閉環(huán)的位置控制，以及平滑的傳動驅(qū)動器特性是傳統(tǒng)的滾軸絲杠式的傳動系統(tǒng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及的。最大行程可達(dá)1800mm，實(shí)現(xiàn)多動子驅(qū)動，重復(fù)定位精度+/-0.1微米

X-Y-θ 平臺        
icroStage是一種結(jié)合了兩臺LINEARSERV系列直線電機(jī)以及DYNASERV系列直接驅(qū)動伺服的高速、高精度的運(yùn)動控制平臺。 MicroStage運(yùn)動平臺可以應(yīng)用與各個工業(yè)的各個機(jī)械設(shè)備，特別是應(yīng)用在半導(dǎo)體制造以及探傷檢測設(shè)備上，這種高精度的運(yùn)動控制平臺已經(jīng)被非常多的用戶認(rèn)可。

智能驅(qū)動器
> 產(chǎn)品特色與應(yīng)用

DrvGIII智能驅(qū)動器，其控制性能和操作性能對于直接驅(qū)動電機(jī)效果好。
1． 整定時間短
2． 內(nèi)置定位功能
3． 應(yīng)用指令豐富
4． 自動整定功能
5． CE與UL認(rèn)證
6． 提供多功能應(yīng)用軟件，通過實(shí)現(xiàn)濾波器設(shè)定、參數(shù)設(shè)定、脫機(jī)時操作等

DD馬達(dá)        
DD馬達(dá)定子采用高磁性的稀土永久磁鐵，通過直接驅(qū)動方式，可實(shí)現(xiàn)較高的力矩質(zhì)量比，馬達(dá)反饋采用新型編碼器。DM系列的解析度最高可達(dá)4096000PPr.DM1A系列的絕對精度和重復(fù)定位精度為+-15arc-sec和+-1arc-sec。新型智能驅(qū)動器采用數(shù)字控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4倍的解析度以及前饋功能，整定時間大大縮短。